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准分子脉冲激光器

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  • 发布时间:2016-09-26
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设备编号 2013132702 仪器负责人 李山东
中文名称 准分子脉冲激光器　 英文名称  Excimer laser pulse
规格型号  型号COMPexpro201  规格201 产地国别 美国
仪器安放地址 bet356亚洲体育官网入口中心校区西院科技馆四层401　
主要科学领域 薄膜生长
主要技术指标

波长248nm；最大脉冲能量700mJ； 平均能量5W； 最大频率10Hz； 脉冲延迟25ns； 脉冲稳定性1%； 光束维度24*10mm； 光束分散度3*1mrad　
主要功能    利用激光与气体、液体、固体的相互作用，实现激光气象分解沉淀，激光固体销蚀淀积，激光晶化，激光改性等性能。　
 

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